涂胶显影设备是干什么用的:涂胶显影设备是在光刻工序中和光刻机配套使用的机器,主要起到涂胶、烘烤和显影的作用。涂胶显影设备是集成电路生产过程中不可获缺的设备,能够直接影响到光刻工序中曝光图案的形成。
涂胶显影设备主要应用在晶圆生产中的前道EUV光刻中,以及后道的封测和LED制造中,在晶圆生产中起到重要作用
在全球市场中,涂胶显影设备市场集中度较高,主要被日本东京电子、日本迪恩士、台湾亿力鑫、德国苏斯微、韩国CND等企业占据,其中日本东京电子是绝对的龙头企业,市场占比高达88%左右。当前国内涂胶显影设备市场被外企占据,东京电子、日本迪恩士两家企业市场占比高达96%,其中东京电子占比在90%左右。国内企业芯源微市场占比仅为4%。